雖然icp光譜儀本身具有較高的測(cè)量精度，但在測(cè)量樣品中元素的含量時(shí)，結(jié)果通常與真實(shí)含量不一致，存在一定的誤差。而且由于很多因素的影響，有些物質(zhì)的含量很低。那么怎么好好的光譜儀就有誤差了？這需要我們從這幾個(gè)方面來(lái)分析。
 

　　

　　1、系統(tǒng)誤差的來(lái)源

　　

　　（1）當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)樣品和樣品的含量和化學(xué)成分不全相同時(shí)，基體線(xiàn)和分析線(xiàn)的強(qiáng)度可能發(fā)生變化，從而引入誤差。

　　

　　（2）當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)樣品和樣品的物理性質(zhì)不全相同時(shí)，特征激發(fā)線(xiàn)會(huì)不同，產(chǎn)生系統(tǒng)誤差。

　　

　　（3）當(dāng)鑄鋼試樣與退火、淬火、回火、熱軋、鍛鋼試樣的金屬組織不同時(shí)，測(cè)得的數(shù)據(jù)會(huì)有所不同。

　　

　　（4）未知元素譜線(xiàn)的重疊干擾。比如冶煉過(guò)程中加入脫氧劑和脫磷劑，混入未知合金元素，造成系統(tǒng)誤差。

　　

　　（5）為了消除系統(tǒng)誤差，必須嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn)樣品制備的要求。為了檢查系統(tǒng)誤差，需要用化學(xué)分析方法對(duì)校對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析。

　　

　　2、偶然誤差的來(lái)源

　　

　　與樣品成分不均勻相關(guān)的誤差。由于icp光譜儀光電光譜分析中消耗的樣品很少，樣品中元素的分布和結(jié)構(gòu)不均勻，導(dǎo)致不同部位的分析結(jié)果不同，產(chǎn)生偶然誤差。主要原因如下:

　　

　　（1）冶煉過(guò)程中帶入的夾雜物和偏析造成樣品元素分布不均勻。

　　

　　（2）缺陷、氣孔、裂紋、砂眼等。

　　

　　（3）交叉研磨紋、研磨樣品過(guò)熱、樣品研磨面靜置時(shí)間過(guò)長(zhǎng)、指紋按壓等因素。

　　

　　（4）為了減少偶然誤差，必須仔細(xì)取樣，消除樣品的不均勻性和鑄造缺陷，或多次重復(fù)分析，以減少分析誤差。

　　

　　3、其他因素的誤差

　　

　　（1）氬氣不純。當(dāng)氬氣中含有氧氣和水蒸氣時(shí)，激發(fā)點(diǎn)會(huì)退化。如果氬氣管道和焊鉗中有污染物無(wú)法排出，分析結(jié)果會(huì)變差。

　　

　　（2）室內(nèi)溫度的升高會(huì)增加光電倍增管的暗電流，降低信噪比。高濕度容易導(dǎo)致高壓元件泄漏放電，使icp光譜儀分析結(jié)果不穩(wěn)定。